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新华社北京３月１３日电（记者张泉、刘诗平）电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工７１８所副所长郭建增告诉记者，７１８所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商，为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善，特种气体哪家好，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

电子工业生产中所需的高纯气体

随着现代分析仪器的发展，国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面，包头特种气体，也已进入在线分析阶段，且分析检测的灵敏度高，可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而，由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量，特种气体多少钱，一般需要把气体样品先进行液体化，即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中，以该溶液为样品，才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级，因此，生产特种气体厂家，对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。

LED产业的特种气体市场需求

　　目前，全球每年对高纯电子气体的需求速度递增，2009年全球LED用高纯度特种气体市场规模已达20亿美元。美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国Air Liquid、日本昭和等几大气体公司在全球市场占有垄断地位，年产能高达数千吨。

　　近年来随着光电子、微电子技术的发展，特别是氮化jia技术的突破，对特种气体的需求和技术要求愈来愈高。越来越多的生产厂家和用户开始关注原材料的质量及其对生产、销售和企业经济效益带来的影响。

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